传感器与计算机、通信并称为现代信息技术的三大支柱。当计算机向深度学习、人工神经网络等类人脑方向发展，通信向5G、6G、物联网等方向发展，传感器将何去何从?

传感器被称为“电五官”，其发展大致经历了三个阶段：结构型传感器(始于20世纪50年代)、固体传感器(始于20世纪70年代)、智能传感器(始于20世纪末)。近年来，在需求牵引和技术推动的影响下，集成化、微型化、低功耗、高性能、智能化成为传感器的整体发展趋势，而MEMS传感器就是这一趋势下的重要方向之一。

MEMS传感器增长迅速

2026年规模可达893亿元

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。

　MEM工艺流程

MEMS传感器&执行器

　　“十三五”国家科技创新规划

2016年，我国发布《“十三五”国家科技创新规划》，提出要开展MEMS传感器的研发，提高自主研发能力，开展工业传感器核心器件、智能仪器仪表、传感器集成应用等技术攻关。

此后，我国又陆续发布《智能传感器产业三年行动指南(2017-2019)》《促进新一代人工智能产业发展三年行动计划(2018-2020)》《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策》《产业结构调整指导目录(2019年本)》《2019年工业强基重点产品，工艺“一条龙”应用计划示范企业和示范项目公示》《基础电子元器件产业发展行动计划(2021-2023 年)》，以及“十四五”规划等政策，在宏观层面对我国MEMS传感器产业的发展起到了很好的指导、帮扶作用。

　　广州、上海MEMS传感器相关政策

我国部分省市也有出台相关政策，支持当地传感器企业的发展。如广州、上海等明确表示，会对MEMS传感器相关企业在当地落户、设立研发中心、产值突破一定金额等给予相应的资金奖励。

值得注意的是，我国在2021年末发布的《科学技术进步法》提到，“对境内自然人、法人和非法人组织的科技创新产品、服务，在功能、质量等指标能够满足政府采购需求的条件下，政府采购应当购买;首次投放市场的，政府采购应当率先购买， 不得以商业业绩为由予以限制。”各地纷纷响应，陆续出台“政府集中采购目录及标准”，自此拉开了国产替代的大幕。实际上，不仅是政府采购，随着近年来国产品牌的崛起，民营国产品牌也开始青睐国内上游供应商，这无疑又为国产MEMS传感器注入一剂强心剂。

简而言之，下游需求牵引、产业政策支持以及国产替代，为我国MEMS传感器的弯道超车创造了机会。

(来源：新视线)

责任编辑：孙青扬