氮化硅窗口

氮化硅薄膜窗口是透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)分析的常用耗材,它可以满足科研人员在高分辨率的条件下观察样品的微观结构和性质。 

结构尺寸
可定制
膜层厚度
≥10nm可定制
膜层均匀性;粗糙度
5%≤0.3nm
膜层应力

200MPa

纳米孔

根据膜厚,孔径≥5nm可定制