微热板类传感器

微热板是一种采用微纳加工技术制造的微型加热器件,具有小尺寸、高响应速度、低功耗等优点。它通过在微结构上施加电流,使加热元件发热,从而实现对待测物体或环境的加热和温度控制。 

类型
正面开腔悬臂梁式、背面开腔悬膜式
 加热图形及开腔尺寸、阵列排布、敏感区域面积等
可定制
气敏材料涂敷
点涂、丝网印刷