微热板类传感器
微热板是一种采用微纳加工技术制造的微型加热器件,具有小尺寸、高响应速度、低功耗等优点。它通过在微结构上施加电流,使加热元件发热,从而实现对待测物体或环境的加热和温度控制。
描述
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微热板是一种采用微纳加工技术制造的微型加热器件,具有小尺寸、高响应速度、低功耗等优点。它通过在微结构上施加电流,使加热元件发热,从而实现对待测物体或环境的加热和温度控制。
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