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MEMS芯片定制

  

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MEMS芯片定制包括:纳米微晶、氮化硅窗口、微流道器件、叉指电极、微热板类传感器、硅透镜、镂空掩模板等项目

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纳米微晶
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氮化硅窗口
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微流道器件
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叉指电极
2-5-1
微热板类传感器
2-7-1
镂空掩模板
2-6-1
高精度Cr图形-激光直写
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