掩模板制作
常用掩模板是一种平面玻璃或石英板,上面涂覆着不透光金属薄膜,在光刻过程中,掩模板被放置在光刻机上,然后经过一系列的步骤进行曝光、显影和清洗处理。最终在基片上形成微小的电路结构。
描述
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常用掩模板是一种平面玻璃或石英板,上面涂覆着不透光金属薄膜,在光刻过程中,掩模板被放置在光刻机上,然后经过一系列的步骤进行曝光、显影和清洗处理。最终在基片上形成微小的电路结构。
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